吳怡亭，游議輝，阮文徽，盧孔德，吳紀聖，張陸滿，郭啟文： 

Enhanced Xylene Removal by Photocatalytic Oxidation Using Fiber-illuminated Honeycomb Reactor at ppb Level

Journal of Hazardous Materials, vol 262, p. 717-725 (2013)

在國内高科技半導體技術不斷發展下，預估不久未來晶片之關鍵尺寸會縮小到 14 奈 米，在這樣精密的製程下，低濃度微污染揮發性有機污染物的控制與偵測便顯得十分重要。高科技廠房潔淨室揮發性有機污染物所產生污染影響製程良率甚鉅，因此潔淨 室對揮發性有機污染物防治將刻不容緩。本研究發展設計光纖內照明陶瓷式蜂巢載體 反應器，用以去除低濃度揮發性有機污染物。光觸媒照射紫外光後可使揮發性有機化 合物反應並造成其化性的改變。使原為疏水性有機污染物轉變為親水性有機污染物， 其後就可使用水洗方式去除。我們使用水熱法製作光觸媒 TiO2，並使用氣相層析質譜 儀測量揮發性有機氣體的濃度偵測揮發性有機物的光反應產物。發現使用光纖反應器 效能明顯提升，使用內照明蜂巢式反應器進行 200 ppb 二甲苯的光催化，發現與單照 光相比，去除率從 22%提升至 96.5%。本研究也發使用不同重量百分比的錳-二氧化鈦 進行揮發性有機氣體，發現不僅可以提升二甲苯的去除率，也可以提高產物中二氧化 碳的選擇率。而錳-二氧化鈦也有極佳的再使用率，即使使用了 72 小時，還是保有 82 %的二甲苯去除率。未來可以應用潔淨室的空氣淨化系統，因為其具有高去除效率且 可以在室溫下進行反應。在半導體廠中，無塵室裡 ppb 等級的揮發性有機氣體去除會 是一大挑戰，本研究提供了一個有潛力並且可靠的技術。